真人棋牌龙虎斗光刻设备产业技术创新战略联盟成立

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光刻设备产业技术创新战略联盟成立

发布时间:2019-10-27 21:29:37

      哈工大报讯(陈毅恒/文)11月10日,光刻设备产业技术创新战略联盟在上海正式成立。科技部领导以及相关司局领导、上海市领导和市科委领导、上海微电子装备有限公司、上海现代先进超精密制造中心有限公司、清华大学、哈尔滨工业大学等25家成员理事单位代表、联盟专家委员会成员、行业协会成员等出席了10日晚举行的揭牌仪式。在仪式上联盟理事长贺荣明汇报了联盟组建情况。我校工业技术研究院院长李立毅代表学校参加了签约仪式。
      该联盟以上海微电子设备有限公司为依托,由我国从事光刻设备技术研究、整机产品研发、零部件制造以及光刻设备应用等相关产学研用单位在完全自愿的基础上组成。联盟以光刻设备技术创新、光刻设备研发和产业化为主题组建成立,属于开放性的非营利性创新组织。
      该联盟依托“极大规模集成电路制造设备及成套工艺”国家科技重要专项,研究重大光刻设备系列产品,解决光刻设备受到外国政府出口限制、严重制约我国集成电路产业发展的难题。该联盟致力发挥联盟的产学研用合作优势,力争研发完成完整的光刻设备系列产品,支撑我国集成电路产业的发展。
      我校在“极大规模集成电路制造设备及成套工艺”国家科技重要专项中承担多项科研任务,此次加入联盟对我校和各企业、院校加深了解,推进合作具有重要意义。